簡單分子泵氣路方案（如圖）

一般用于測試分子泵性能或各種科學檢測設備中，其應用特征是真空室內(nèi)設施以及材料相對固定不變，無須經(jīng)常打開真空室進行室內(nèi)操作。如果前級使用油介質(zhì)的旋片機械泵，應安裝隔斷放氣閥。隔斷放氣閥必須與前級泵聯(lián)動，以確保機械泵停電后，油蒸氣甚至油液不會被吸入分子泵。有些旋片機械泵內(nèi)自帶隔斷放氣閥，以避免長期使用后，前級管路遍布油液、污染嚴重。

帶有預抽（旁抽）功能的分子泵氣路方案（中圖）

一般用于真空室開啟頻繁的設備當中。分子泵在使用中應盡量避免反復啟動。反復的啟動分子泵，不但耽誤時間，而且會導致分子泵頻繁經(jīng)過諧振區(qū)，加速對分子泵抽承的磨損。所以當開啟真空室的時候，可關閉閘板閥和兩個隔斷閥，而后打開充氣閥充氣，氣壓恢復后，打開真空室進行各種應用操作，此時分子泵和前級泵處于正常運轉(zhuǎn)狀態(tài)。當再次給真空室抽真空的時候，先打開預抽隔斷閥，用前級泵直接給真空室排氣，當真空度達到前級泵極限以及分子泵安全工作氣壓時，關閉預抽閥，打開隔斷閥和閘板閥，由此完成高真空的再次排氣過程操作。

帶有恒壓控制的分子泵氣路方案（左圖）

應用于真空室需要充氣、恒壓的設備中，此類設備一般需要給真空室充入一些工藝氣體，并保持一定的低氣壓。此時可關閉閘板閥，打開恒壓氣路，調(diào)整調(diào)節(jié)閥降低排氣速度。恒壓截止閥能避免頻繁開閉調(diào)節(jié)閥，調(diào)節(jié)閥調(diào)整完畢后，一般靠截止閥來控制恒壓氣路的開閉。

閥門選配安裝注意事項，一般的真空閥門，其密封方向是有區(qū)別的，應正確區(qū)分密封方向，不能安反，否則會造成階段性漏氣甚至無法獲得正常真空指標：

l  閘板閥和隔斷閥的密封面應在分子泵側(cè)，當分子泵與真空室之間壓差很大時（如預抽過程前后），能確保閥門不會在強氣壓差下被頂開。

l  旁抽閥密封面應在前級泵側(cè)，當真空室恢復大氣壓時，能確保旁抽閥不會被大氣壓頂開。

l  隔斷放氣閥的密封面應在隔斷閥和預抽閥一側(cè)（其放氣口在前級泵側(cè)）。